Edwards XDS35i 和XDS46i泵具有创新的轴承护罩设计，可将真空环境与所有形式的润滑剂隔离开来，使之不仅*干燥，而且*密封。该屏蔽还能保护轴承免受任何制程蒸汽的影响。两款泵都有耐腐蚀性版本。

XDS46i 泵是在 XDS35i 基础上开发的产品，因此两者具备相同的功能和优势，但前者的峰值泵速可达 40m3/hr。当入口压力在 1 mbar 到 10 mbar 之间时，XDS46i 针对大抽速进行了优化，因此非常适合需要比 XDS35i 的抽速更高抽速的 LCMS 和 ICPMS 应用。端部密封技术的新改进减少了端部密封的磨损，从而延长了维修干预之间的时间间隔。变换器驱动控制着电机的特性，确保泵总是以优化速度运行，并使用户可以对泵进行远程控制。

气镇允许处理蒸汽，将应用范围拓展到以前许多不适用滚轴泵的情况。变频器驱动装置控制着电机特性，可确保泵总是以好转速运转。

nXDS 46i涡旋真空泵特点

真空外壳中不需要使用润滑剂，*密封可保证*的清洁和干燥真空，防止交叉污染

无大气压到真空的轴封可使轴承*隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长

nXDS 46i涡旋真空泵无需更换润滑油，也就消除了处置被污染的润滑油所需的费用

简单的单侧滚轴设计意味着维护工作可在数分钟内完成，降低运行成本，尽可能延长正常运行时间

变换器驱动可使抽速稳定维持在 50/60Hz

应用

清洁泵送应用

汽车

射束线和高能物理

超高速离心机

 LCMS 入口

ICPMS 入口

涂层