霍尔效应测试系统的构成部分及其主要特征
时间:2022-08-02 阅读:86
霍尔效应测试仪,是用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要参数,而这些参数是了解半导体材料电学特性必须预先掌控的,因此是理解和研究半导体器件和半导体材料电学特性必*的工具。
该仪器为性能稳定、功能强大、性价比高的霍尔效应仪,在国内高校、研究所及半导体业界拥有广泛的用户和知*度。仪器轻巧方便,易于携带,主要用于量测电子材料之重要特性参数,如载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等,薄膜或固体材料均可。
本仪器系统由:电磁铁、高精度电源、高斯计、高精度恒流源、高精度电压表、霍尔探头、电缆、标准样品、样品安装架、系统软件。
自动化霍尔效应测试系统组成:
高精度磁铁电源
※ 双极性恒流输出
① 电源输出电流可在正负额定★大电流之间连续变化;
② 电流可以平滑过零点,非开关换向;
③ 输出电流、电压四象限工作(适合感性负载);
④ 电流变化速率可设置范围为0.0007~0.3 F.S./s(F.S.为额定★大输出电流)。
※ 电流稳定度高,纹波低
①电流稳定度:优于±25ppm/h(标准型),优 于±5ppm/h(高稳型);
② 电流准确度:±(0.01%设定值+1mA);
③ 电流分辨率:20 bit,例 15A 电源,电流分辨率为 0.03mA;
④ 源效应:≤ 2.0×10-5 F.S.(在供电电压变化 10%时,输出电流变化量);
⑤ 负载效应:≤ 2.0×10-5 F.S.(在负载变化 10%时,输出电流变化量);
⑥ 电流纹波(RMS):小于1mA。
霍尔样品架:
用于固定,焊接霍尔器件,四探针压点使接触更方便牢。高精度高斯计:分辨力:0.01Gs,量程:0-±3T,精度:0.1% ,标准 232 数字接口与控制端口。
电压电流数采仪:
恒流源量程:±50nA-±50mA,分辨力 0.1nA 在量程范围内连续可调,高 精 度 电 压 数 采 仪 范 围 0. 1uV-30V,精度:.01%内置测试矩阵转换卡,
电磁铁:
极头直径 50mm.NS间距10mm时*大磁场1.07T,间距 20mm 时*大磁场 0.7T,可实现在*大磁场范围内连续,变化(可调)自重 30 公斤。
欧姆接触套件 :
专业做欧姆接触用铟片以及相,应焊接套装,材料标准样片,硅片,砷化镓 2 阻值:300-500 欧姆。
测试系统软件:
定位采集,数字温度显示,I-V,曲线及 I-R 曲线测量,得到体载,流子浓度等各类参数曲线图形。