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半导体测量探针台 高低温真空磁场环境
¥280000定制 气氛型高温探针台 标配铂电阻温度计
¥18000实验室半导体材料测量仪器定制高精度实验台 仪器设备
面议气氛型高温探针台测试系统光学电学仪器
面议三维磁场探针台测试系统实验室测试设备
面议三维磁场探针台测试系统半导体材料测试实验
面议室温探针台磁场高精度实验台材料测试 电子行业专用仪器
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面议产品概述:
锦正茂高低温真空探针台可进行真空环境下的高低温测试(4.2K~500K),可升级加载磁场,低温防辐射屏设计,样品台采用高纯度无氧铜制作,温度均匀性更好,温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置,支持光纤光谱特性测试,兼容高倍率金相显微镜,可微调移动,器件的高频特性(支持频率上达67GHz),探针热沉设计,LD/LED/PD的光强/波长测试,自动流量控制,材料/器件的IV/CV特性测试等。
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半导体测量实验台高低温真空环境探针台
应用范围:
锦正茂高低温真空探针台高低温真空环境下的芯片测试,材料测试,霍尔测试,电磁输运特性等。
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导体测量实验台高低温真空环境探针台
þ 防震桌
þ 多级压缩制冷机
þ 机械泵/分子泵组/离子泵
þ 射频部件
þ 各类型频率真空接头
þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线等…
þ 各类探针夹具
þ Chuck运动装置
þ 电磁铁系统/超导磁铁系统
þ 1Mpa正压系统
þ 超高温升级选件
þ 超高真空升级选件
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技术指标:
型号 | T81-50探针台 | T80-50探针台 |
制冷方式 | 液氦/液氮制冷 | 闭循环制冷机 |
腔体材质 | 无磁不锈钢或者铝合金 | |
真空度 | 真空上等高达10-8Pa | |
真空腔观察窗尺寸 | 2inch(可选) | |
控温范围 | 4.2K-450K | 5K-450K |
控温分辨率 | 0.001K控温仪相关 | |
温度稳定性 | 0.1K控温仪相关 | |
降温时间 | 40min | 150min内,视制冷机功率定 |
温度传感器 | 硅二极管、PT100(3个,样品台和探针臂和防辐射屏上各一个) | |
加热电源 | LVDC 低压直流 | |
样品台材质 | 镀金无氧铜 | |
样品台尺寸 | 直径20-50mm,可选100mm | |
样品台平整度 | ≤7μm | |
样品台固定方式 | 固定的样品台(可升级随位移台移动) | |
样品台振动级别 | ≤50纳米 | ≤1μm(三级减震) |
探针臂数量 | 2个、4个、6个、8个可选 | |
探针臂机械精度 | ±12.5mm(可升级±25mm),精度1μm(可选) | |
探针种类 | 钨、铍铜、微波探针(可选高达67GHz的GSG探针) | |
探针调节 | 真空波纹管外部调节,手动控制 | |
放大倍数 | 16~100X/20~4000X | |
显微镜行程 | X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z轴行程≥50.8mm | |
电力需求 | 220V 50-60Hz |