高低温真空环境实验台半导体测量探针台-北京锦正茂科技有限公司手机版

详细介绍

高低温真空探针台

产品概述：

锦正茂高低温真空探针台可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~500K），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性(支持频率上达67GHz)，探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。

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高低温真空环境实验台半导体测量探针台

应用范围：

锦正茂高低温真空探针台高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。

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高低温真空环境实验台半导体测量探针台

可选附件：

þ 防震桌

þ 多级压缩制冷机

þ 机械泵/分子泵组/离子泵

þ 射频部件

þ 各类型频率真空接头

þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线等…

þ 各类探针夹具

þ Chuck运动装置

þ 电磁铁系统/超导磁铁系统

þ 1Mpa正压系统

þ 超高温升级选件

þ 超高真空升级选件

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技术指标：

型号	T81-50探针台	T80-50探针台
制冷方式	液氦/液氮制冷	闭循环制冷机
腔体材质	无磁不锈钢或者铝合金
真空度	真空上等高达10-8Pa
真空腔观察窗尺寸	2inch（可选）
控温范围	4.2K-450K	5K-450K
控温分辨率	0.001K控温仪相关
温度稳定性	0.1K控温仪相关
降温时间	40min	150min内，视制冷机功率定
温度传感器	硅二极管、PT100（3个，样品台和探针臂和防辐射屏上各一个）
加热电源	LVDC 低压直流
样品台材质	镀金无氧铜
样品台尺寸	直径20-50mm，可选100mm
样品台平整度	≤7μm
样品台固定方式	固定的样品台（可升级随位移台移动）
样品台振动级别	≤50纳米	≤1μm（三级减震）
探针臂数量	2个、4个、6个、8个可选
探针臂机械精度	±12.5mm(可升级±25mm),精度1μm（可选）
探针种类	钨、铍铜、微波探针（可选高达67GHz的GSG探针）
探针调节	真空波纹管外部调节，手动控制
放大倍数	16~100X/20~4000X
显微镜行程	X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm
电力需求	220V 50-60Hz

注：标价不准，以电话沟通为准

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高低温真空探针台

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