BIO3.100

BIO3.200

BIO3.300

运动范围XYZ（µm）

100

200

300

分辨率XYZ（nm）

0,1

0,2

0,3

典型的噪声基准XYZ（nm）

0,01

0,02

0,03

的重复性XYZ（nm）

0,2

0,4

0,6

线性化（典型的）

0,02%

0,02%

0,02%

谐振频率X / Y / Z（赫兹）

500/400/400

400/350/300

300/250/250

刚度 X/Y/Z (N/µm)

0,6/0,5/0,5

0,5/0,4/0,4

0,4/0,3/0,3

负载（kg）-水平使用

1

1

1

负载（kg）-垂直使用

0,5

0,5

0,5

传感器

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

尺寸W x L x H (mm)

152,5 x 213 x 20,45

152,5 x 213 x 20,45

152,5 x 213 x 20,45

材料

Al or Invar

Al

Al

电缆长度（m）

2

2

2

推荐控制器

Standard

Standard

Standard