介质要求：

洁净干燥无腐蚀性气体

介质种类：

空气、氮气、氩气、二氧化碳

氦气、氢气、甲烷、氧气等

量程：

0...50/100/500/1000SCCM(每分钟标准毫升)

0...5/100 SLM(每分钟标准升)

精度 ：

0.5% F.S.

1.0% F.S.

分辨率：

*低 0.01SCCM(每分钟标准毫升)

响应时间：

≤1S

环境条件

介质温度：

0...50℃

工作温度：

-20...70℃

工作湿度：

10%...90%RH（无结冰，无凝露）

工作压力：

0...10bar

储存温度：

-20...85℃

电气参数

供电电压：

DC24V，纹波 ≤50mV

功耗：

≤3.2W（有屏幕）

≤2.4W（无屏幕）

启动时间：

≤1S

预热时间：

≤10mS

通信接口

模拟信号（电流、电压）

接口类型：

D-SUB 9 针

电流信号：

4...20mA (线性对应量程)

电压信号：

1...5V (线性对应量程)

数字信号（RS485）

接口类型：

RJ45和D-SUB 9 针

通信速率：

4800

1280

协议：

RS485（默认 Modbus-RTU协议）

设备地址：

1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改)

最大节点数：

250

机械参数

过程连接类型：

卡套：8mm、12mm

快插：6mm，8mm

协议定制

主体材质：

接液底座：AlZnMgCu1.5/3.4365铝合金（7075航空铝）

不锈钢1.4301(不锈钢304)

不锈钢1.4435(不锈钢316L)

外壳：碳钢

密封材质：

FKM 氟橡胶

重量：

铝：≈0.75kg

不锈钢：≈1.5kg