激光干涉仪是一种以光波为载体，以光波波长为单位的测量方法，是高精度、高灵敏度的检测方法，广泛应用于制造领域。激光干涉仪具有快速、高准确测量的优点，是校准数字机床、坐标测量机及其它定位装置精度及线性指标常用的标准仪器，掌握一些激光干涉仪的使用技巧会使测量互作事半功倍。

激光干涉仪的使用技巧：

一、Z轴激光光路的快速准直方法。当激光干涉仪用于线性测量时，在Z轴测量中校准激光光路比在X轴和Y轴测量中困难得多。特别是在Z轴距离较长的情况下，往往需要很长时间对激光光路进行准直，才能保证被反射镜反射回激光探测器的激光束的强度能够满足对光强的测量要求。Z轴激光光路快速准直法的具体调整方法是：将Z轴放在较低的位置，用激光器外壳中间的瞄准槽将分束器放在Z轴的正对面，左右移动Z轴观察激光光路，保证激光转弯后与Z轴大致平行，将直线镜和光靶左右移回Z轴，激光打在镜面光靶上。在激光干涉仪的初始调整之后，固定分光镜并在其上安装光靶。“整体”调整准确对准光靶后，移开分光镜光靶，抬高Z轴，观察激光对反射镜光靶的偏离程度。同时，通过“尾部”调整使激光对准反射镜光靶。如果分光镜在这个过程中由于“尾巴”调整挡住了部分激光，停止Z轴上升回到开始，重新调整“整体”然后再上升Z轴，继续调整“尾巴”，观察激光在反射镜靶上的偏离程度。重复整个过程，往往几次，以达到对齐的要求。

二、辅助工具的选择。虽然激光干涉仪的安装部件比较齐全，但是在实际使用过程中还需要配置一些额外的辅助工具：1、开发低高度云台支架。机床工作台高度的一部分基本与地面平齐，所以在测量Z轴的时候，如果用激光干涉仪原来的三脚架和摇篮把激光放在地面上，肯定会因为三脚架本身的高度而失去测量范围。2、选择磁性手表底座。磁台架是激光干涉仪常用的辅助工具，选择时要注意。工作台支架的工作面上应该有螺孔，以安装镜头组的安装杆，应分别选择底部和侧面有主磁吸附面的两个桌托。

激光干涉仪具有测量精度高、测量速度快、高速度下分辨率高、测量范围大等优点，结合不同的光学元件，可以实现直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以测试数控机床的动态性能，测试分析机床的振动，分析滚珠丝杠的动态特性，分析驱动系统的响应特性，分析导轨的动态特性等。激光干涉仪具有较高的精度和效率，为机床的误差修正提供了依据。