低温等离子净化器所用工艺是在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发去。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
1：微波激发区
等离子净化
本工艺有3至9个微波激发单位，根据被处理风量的不同数量不同，微波由于它的频率相对比较高，在纳秒的时间内有效作用于被处理空间（区域），由于微波的功率相对较小，因此在激发能力上也就是说电子的获能跃迁能力上有限，本设计只是把微波作为初频激发源，在处理过程中作为一种预激发能。由于微波的预激功能，极大的提高等离子体区，极板区的激发能力和处理效果，由于微波技术的运用，本工艺在同类设备的比较中显得设备精炼而效果*。
2：低温等离子体激发
本工艺有40支至240支充有特殊气体的无极管组成的低温等离子体激发区，低温等离子体区是工艺的核心技术，国外诸多科研机构室称在常压下实现低温等离子体。从大量的试验分析，常压低温等离子体要在工业中应用存在的困难仍旧很大，本工艺借助低气压的无极灯作为低温等离子体的激发体，限度地在无极管区实现低温等离子体区，由于低温等离子体在能量跃迁过程中具有的能量平衡性，在粒子撞击中失能极少，所以低温等离子体作为原子激发是的一种能。在实践应用中，的科题在于低气压究竟是多少帕？管内充什么样的气体经济价值？这没有理论模型可言，只有通过实践、实验、分析。
3:极板区
根据被处理气体的流量，极板间的电压分12KV、16KV至42KV，极板间加以足够高的电压，在引风的作用下，极区由于负压的作用，按照法拉第暗区理论、光致电离理论、自由离理论，在常压或接近常压的条件下有相当概率的粒子可能实现低温等离子体。
根据三类的功能区，集中的目的是实现低温等离子体，由于理论和实际使用条件上的区别，单一的方法获得低温等离子体，从功率上，外部条件上都存在差距。本工艺集三种技术与一体，经山东、江苏、浙江三地多家医药、化工企业的实地测试，原废气的去除率非常理想，根据尼普公司的测试，高浓度废气去除率可达84%以上。
电催化氧化工艺集低温等离子体、微波放电、极板放电与一体，在实际使用中实现废气的有效处理是极为复杂的过程，整个过程在不到1秒的时间内完成。从理论到模型都能探究到相关的机理，通过三种方式的集中放电，废气分子从低能的E,在千分之一秒的时间内跃迁到足以使其电离的Em级，废气分子键充分断裂，在雪崩式的撞击中断裂后的粒子由于质量更小，被进一步跃迁，与反应堆内的氧离子氢氧根离子发生反应，生成无害无味的CO2、H2O以及其它高价化合物。同时由于反应堆内臭氧以及紫外线的作用，*去除不同范畴的废气化合物，实地较为广谱的去除空间。
低温等离子体去除污染物的机理：
等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(1) 电场＋电子→高能电子
(2) 高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团
(3) 活性基团＋分子(原子)→生成物+热
(4) 活性基团＋活性基团→生成物+热
从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
低温等离子净化器产品有哪些优势？
适用范围广：净化效率高，尤其适用于其它方法难以处理的多组分废气，如化工，医药等行业，电子能量高，几乎可以和所有的废气分子作用；运行费用低；反应快，设备启动，停止十分迅速，随用随开。
高效灵活：高效捕集不同粒径的油雾粒子，净化效率高，从根本上解决了复杂的废气组成不能逐一净化的难题，净化单元可以灵活组合，根据不同的净化处理量及净化率要求，单元数量可作调整。
方便*：净化单元采用分体抽屉式结构，易于安装，维护，清洗特别方便，电源控制系统可自动调节电场强度，使净化设备在长期运行后仍保持较高的净化率。
安全稳定：安全系统设计周密，检修门被打开，高压电源即自动切断；高压电源精心设计成环氧树脂严密封闭的单元体，使用安全可靠；采用了大型机所运用的闪络跟踪技术，可配备远程控制系统，大大提高运行运行的安全系数，电源控制系统具有过流过压自动保护装置，保证设备稳定运行。
低温等离子净化器特点：
节能：使用寿命长，节能高效比传统技术节能50%以上。
占地面积小：智能,能自动判断工作运行状态，并显示相应的工作指示灯。
低温等离子净化器工作原理：
低温等离子体是继固态，液态，气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，有机气体被击穿，产生包括电子，各种离子，原子和自由基在内的混合体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子，自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以产生一系列水，二氧化碳等碳水化合物以达到降解污染物的目的。
低温等离子净化器应用范围：
低温等离子体技术在历经多年研发生产，该技术已经能够稳定的应用于污水处理厂，石油化工，制药，污水处理，涂料，皮革加工，感光材料，汽车制造，食品加工厂，印染厂，垃圾处理厂，公厕，屠宰场，牲畜饲养场，鱼类加工厂，饲料加工厂等诸多能够产生恶臭异味的场所。
