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面议日本光学交流法热扩散率测量装置 LaserPIT
本装置是利用扫描激光加热交流方式对薄膜、薄板、薄膜等薄板材料进行面内热扩散率测量的装置。
在高导热薄膜的情况下,也可以测量亚微米薄膜。
CVD金刚石、氮化铝等高导热薄板材料(厚度<500μm)的热扩散率/热导率测量
铜、镍、不锈钢等各种金属薄板材料(厚度>5μm)的热扩散率/热导率测量
玻璃、树脂材料等低热导率薄板材料(厚度<500μm)的热扩散率/热导率测量
高各向异性石墨片(厚度<100 μm)、聚酰亚胺、PET等聚合物薄膜(厚度> 5 μm)的热扩散率/热导率测量
测量在玻璃基板上形成的氮化铝薄膜、氧化铝薄膜(厚度100-300nm)等(厚度30μm)的热导率
形成于玻璃基板(厚度 0.03 mm)上的 DLC 薄膜(厚度 > 1 μm)的热导率测量
在PET基材(厚度0.1mm)上形成的有机染料薄膜(厚度100-300nm)的热导率测量
各种溅射靶材的评价
* 测量条件因材料和物理特性而异。所列条件仅供参考。
从金刚石到聚合物的各种薄片材料的面内热扩散率测量
适用于厚度为3至500微米的自支撑片材、薄膜、线材和纤维等多种材料
在基板上形成的厚度为 100 nm 至 1000 nm 的薄膜的热导率可以通过微分法测量 * 仅室温
可通过简单的操作进行测量
可通过专用软件进行控制、测量和分析
主体紧凑地集成了所有光学、控制和测量系统
模型 | 激光PIT-R | LaserPIT-M2 |
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温度范围 | 转播时间 | 室温~200℃ |
交流电 | 激光二极管(685nm,30mW) | |
样品尺寸 | 自支撑薄板:宽度 2.5 至 5 毫米 x 长度 30 毫米 x 厚度 3 至 500 微米基 板上的薄膜:宽度 2.5 至 5 毫米 x 长度 30 毫米 x 厚度 100 纳米至 1000 纳米 | |
测量周期 | 0.05~10/s | |
测量气氛 | 在真空中 |