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特征
支持W(钨)/Ni(镍)/Cr(铬)/Ti(钛)等成膜的DC溅射设备
使用磁控管阴极
内置微机,高精度控制成膜过程
操作方式为全自动/手动2种模式
标配自动快门机构
应用/结果示例
W/Ni/Cr/Ti等的成膜
燃料电池基础实验
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基本规格
阴极 | φ2寸磁控阴极 |
快门机制 | 自动/手动操作 |
气体引入机制 | 针阀(自动/手动控制) |
真空泵 | 直联回转泵:100l/min(带自动漏气) |
腔室尺寸 | 内径φ160mm x D160mm(SUS制) |
样品交换方式 | 前门开闭式 |
尺寸(宽/深/高) | 机身: 360/360 / 260mm RP:174/460 / 264mm |
重量 | 身体:20kg RP:23kg |