日本ulvac换能器类型皮拉尼真空计SW1-1

可以测量从大气压到5×10M -2 Pa的宽范围的皮拉尼真空计。
此外，该真空计消除了传统控制器（传感器单元）的操作和显示部件，并将其缩小到低限度的必要功能，从而实现了“降低成本”和“节省空间”。

特征

• 广域测量：可进行从大气压到5×10 ^-2 Pa 的广域测量

• 提高耐冲击性：高耐冲击性设计结构

• 出色的大气压精度：无论真空计的安装位置如何，精度都在±20%以内

• 灯丝材料/铂（Pt）：耐腐蚀铂用作灯丝材料。

• 提高可视性：配备用于检查异常的 LED

• 可一键调节：可一键调节气压和调零。

• 可维护性：易于更换手写笔

• 适用测针扩展：除NW16/25规格外，还增加了Φ15/18规格、对角法兰规格、锥螺纹R1/8规格。

• 测量值输出信号：0 至 10 V 压力日志输出为标准设备

• 控制输出信号：可输出2个设定点（SW1-1）

• 串行通信规格：可进行RS-232C/RS-485通信（SW1-2）

• 符合标准：兼容CE标准

运用

• 太阳能电池、FPD、半导体、电子元件等的制造

• 用于设备低真空区域的过程控制

• 用于熔炉等各种工业设备的低真空区域的过程控制

• 在线型和单晶片型等具有许多工艺室的各种类型

• 用于制造设备低真空区域的过程控制

• 适用于各种有振动和冲击的真空排气管路

日本ulvac换能器类型皮拉尼真空计SW1-1

规格