日本ulvac热阴极电离真空计 ST200-A/R/E

这是一个新系列的换能器类型“G-TRAN 系列多离子规”，可以连接不同测量范围的触针。本产品为三极管电离真空计，不易失去灵敏度，即使在真空计的恶劣环境下也能进行更长时间、更准确的真空测量。在继承长寿命、低运行成本的理念的同时，我们进行了改进，使其更加人性化。

特征

• 提高可用性：PC/智能手机连接可实现设定点设置、状态确认等。

• 灯丝寿命通知功能：灯丝功率监控可提前通知灯丝寿命

• 可连接不同量程的接点：采用多离子规，可根据应用选择接点。

• 紧凑：比传统产品小得多（控制器体积减少 56%），最小的级别

• 扩充产品阵容：除了模拟输出规格（ST200-A）和串行通信规格（ST200-R）之外，还将增加EtherCAT规格（ST200-E）

• 世界三极管型金属电离真空计：真空计即使在恶劣环境下也能实现长寿命

• 压力测量范围广：可测量从大气压到高真空范围（1×10 ⁺⁵至 1×10 ^-5 Pa）（连接选购件 SWU10-R 时）

• 精确的大气压测量：可以检查腔室开口的大气压（连接可选单元 SAU 时）

用途

• 用于有机EL、触控面板等制造设备的极限压力确认和过程控制

• 用于检查真空炉等各种工业真空设备的极限压力

• 用于在含有许多碳氢化合物（油基）的大气中进行测量

• 用于在真空部件加工过程中残留切削油或清洁液的环境中进行测量

• 用于希望减少更换真空计测针频率的真空设备

日本ulvac热阴极电离真空计 ST200-A/R/E

规格