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AxTRAN 是一种热阴极电离真空计,在离子源和离子收集器之间带有 Bessel-Box 型能量过滤器。通过减少软X射线、ESD离子等引起的剩余电流,实现了0.5×10 -10 Pa的测量分辨率。
特征
能够测量10 -11 Pa量级的压力
可降低软 X 射线、ESD 离子等的残余电流。
1×10 -2至 0.5×10 -10 Pa 的宽压力范围
0 至 10V 的压力伪对数输出/每个数字的 1V 线性输出作为标准设备
可输出 2 个设定值
BCD/RS232C 可能(可选)
符合 CE 标准
用途
用于高能加速器等真空设备的压力测量
用于超高、超高真空设备的压力测量
日本ulvac热阴极电离真空计AxTRAN
规格
模型 | ISX2 |
测量压力范围 | 5×10 -11~1×10 -2帕 |
測定分解能 | 0.5×10 -10帕 |
表示 | 数显 尾数 3 位 指数 2 位 |
脱气 | 电子冲击解吸法 |
测量值输出 | 每位线性输出尾数:0 至 10 VDC |
伪对数输出:DC0~10V,每一位线性输出1V | |
设定点 | 2点 |
工作温度限制 | 10~40℃ |
工作湿度范围 | 15 至 80%(无冷凝) |
电源电压 | AC85~240V |
尺寸 W×D×H | 240mm×350mm×99mm |
質量 | 5.3 公斤 |
配件 | AC100V(3P插头接地)电源线,使用说明书 |
选项 | 探头:X-11 |
传感器电缆:5、10、20m | |
BCD输出,RS232C/RS485 |
探头类型 | X-11 |
能量过滤器 | Bessel-Box型 |
灯丝 | Ir・Y2O3 / 2 |
安装法兰 | UFC-070 |
烘烤温度 | 300°C(移除电缆) |