| | LTHS2 | | 运动范围XY（µm） | 75 | | 分辨率XY（nm） | 0,075 | | 典型的噪声基准 XY（nm） | 0,0075 | | 的重复性XY（nm） | 0,15 | | 线性化（典型的） | 0,02% | | 谐振频率X / Y（Hz） | 1500/1000 | | 刚度 (N/µm) | 2/2 | | 负载（kg）-水平使用 | 0,5 | | 负载（kg）-垂直使用 | 0,3 | | 传感器 | Silicon HR sensor | | 尺寸W x L x H (mm) | 152,5 x 190 x 18,5 | | 材料 | Al | | 电缆长度（m） | 2 | | 推荐控制器 | Standard or High Speed | | |
