| | CUBE3.100 | CUBE3.200 | | 运动范围XYZ（µm） | 100 | 200 | | 分辨率XYZ（nm） | 0,1 | 0,2 | | 典型的噪声基准XYZ（nm） | 0,01 | 0,02 | | 的重复性XYZ（nm） | 0,2 | 0,4 | | 线性化（典型的） | 0,02% | 0,02% | | 谐振频率X / Y / Z（赫兹） | 200/200/500 | 200/200/500 | | 刚度 X/Y/Z (N/µm) | 0,3/0,3/0,6 | 0,3/0,3/0,6 | | 负载（kg）-水平使用 | 0,5 | 0,5 | | 负载（kg）-垂直使用 | 0,1 | 0,1 | | 传感器 | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | | 尺寸W x L x H (mm) | 63,5 x 63,5 x 52,45 | 63,5 x 63,5 x 52,45 | | 材料 | Al | Al | | 电缆长度（m） | 2 | 2 | | 推荐控制器 | Standard | Standard | | |
