气体质量流量控制器在航天行业中的使用情况

  随着科学技术的发展，越来越多的气体质量流量控制器在航天事业中广泛应用。四川莱峰流体设备制造有限公司主要是生产热式气体质量流量控制器和质量流量计为主的厂家，LF系列的小中大流量量程的热式气体质量流量控制器和质量流量计在各行各业中都广泛使用，特别是近几年在航天中使用得非常多。

热式气体质量流量控制器在实际使用中发现，当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符，其实原因很简单，因为在MFC行业中，有一种参数叫CF，即气体转换系数。而MFC行业中又把N2（氮气）定义为标准气体。N2的C值为1.00，其他的气体以氮气为中心，分布在0.1到1.4左右。

CF大于1.00的代表气体是单原子气体He(氦)、Ar(氩)、Kr(氪)、Xe(氙)。和N2相近的气体有02（氧气）、H2（氢气）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是几种气体的混合在一起的话，简单的分析其比率，用各自的CF值计算即可。假设MFC是用N2标定的，但是实际流过的气体是He，实际的流量比N2多。各个厂家的He的CF值稍有不同，但大约都在1.4，所以简单的说就是He气相同示数时，是N2的1.4倍流量。反过来，如果N2流过He的MFC，实际的流量大约是1÷1.4=约0.71，少30%的流量，因此控制器发现流量不准时，考虑出厂标定CF是否与你的气源相同。

LF系列的热式气体质量流量 控制器是由质量流量传感器，层流分层件，流量控制器调节阀和放大控制电路组成，采用数字信号或模拟信号输入输出，具有预热时间短，零漂小，可靠性高等特点。