Agilent安捷伦VacIon Plus 150 L/s 大型离子泵体积适中，可提供较高抽速，可用 6 英寸 Conflat 法兰安装，通常用于需要达到超高等真空条件的实验室。

该离子泵具有三种抽气单元类型。二极离子泵抽气单元适用于通用的超高真空等真空应用，在这些应用中对氢气的抽速至关重要，并且系统很少排气或发生空气泄漏。三极离子泵抽气单元可处理大量惰性气体（优于惰性气体二极离子泵）和氢气，对甲烷、氩气和氦气具有很高的抽速和容量。惰性气体二极离子泵抽气单元适用于需要抽除残留氩气和其他惰性气体的通用应用。

产品参数

产品特点

·配备三极离子泵、二极离子泵和惰性气体二极离子泵抽气单元，为不同气体提供抽速。

·配备 ConFlat 6 英寸非旋转型法兰、额外 6 英寸 ConFlat 孔、双法兰和侧孔，可选不同方向的真空穿导件（Fischer、King、DESY、Varian、Safeconn）。

·无活动部件，确保在高灵敏度应用中无振动运行。

·低漏电流可提供稳定的真空压力读数。

·低磁场可大大减少系统干扰。

·在 > 400 °C 的条件下进行真空处理，并在真空下夹止，确保安装前的清洁度和真空密封性。

·可定制不同的高压真空穿导件、泵体几何形状、额外孔和抽气单元布局，还可配备光学挡板、外部加热器和屏蔽磁体，满足您的需求。

·SEM 版本具有低漏电流和高稳定性，可将电子干扰降低。

·在空间有限的情况下可提供紧凑设计的泵体。

产品尺寸

产品选型