Agilent安捷伦CombiTSP 500 集成了VacIon 500 L/s 离子泵、TSP泵芯和 TSP低温挡板，可在体积不变的情况下提高抽速。TSP泵芯的吸气特性可快速达到超高等真空状态 (UHV/XHV)，从而降低极限真空。低温挡板可进一步提高可吸收气体的抽除效率。三极离子泵元件对甲烷、氩气和氦气具有很高的抽速和容量。

这款泵非常适合粒子物理学和其他低压研究（如表面科学、纳米技术、材料科学），可根据您的需求定制不同的高压真空通导件、泵体几何形状和泵元件。

产品参数

产品特点

·该离子-TSP 复合泵为 VacIon Plus 500，带有一个附加侧孔或底部安装的 8 英寸 ConFlat 孔。

·可选择三极离子泵、二极离子泵或惰性气体二极离子泵抽气单元，可达到惰性气体 (UHV/XHV) 抽速。

·配备 ConFlat 8 英寸非旋转型入口法兰以及采用双法兰或带侧孔配置的额外 8 英寸 ConFlat 孔。

·低温挡板安装在外径 8 英寸的 ConFlat 法兰上，还包括一个用于安装 TSP 泵的 2.75 英寸 ConFlat 法兰。

·包括 TSP 泵芯，但未安装在泵内。

·低温挡板可为 TSP 的升华钛提供更大的表面积，避免真空系统发生不需要的钛膜沉积。

·使用液氮冷却时，低温挡板提高了吸气过程的效率和抽除水的速度。也可在水冷下运行，或在超高真空等真空下无需冷却地运行。

·配备已安装的 120 Vac 或 230 Vac 加热器，还有多种真空穿导件可供选择（Fischer、King、DESY、Varian、SHV 10kV (Safeconn)）。

·电缆和控制器单独提供。

产品尺寸

产品选型