Agilent安捷伦TSP常温屏蔽罩和低温挡板设计用于与 TSP泵芯结合使用。两种产品都为钛溅射提供了较大的表面积。如果在超高真空等真空下使用，低温挡板（低温罩）可在水冷/液氮冷却下使用。如果不能或不希望进行冷却，常温屏蔽罩可以提供比未冷却低温板更高的抽速。

使用常温屏蔽罩或低温挡板与TSP泵芯，提高活性气体的抽速，更快达到超高真空等真空状态。常温屏蔽罩可以为活性气体提供高抽速。在非常低的压力下，残留气体负荷为氢气，当升华钛处于低温罩提供的较低温度时，氢气的抽除效率较高。

产品特点

·低温挡板或常温屏蔽罩可为 TSP 的升华钛提供更大的表面积，避免真空系统发生不需要的钛膜沉积。

·用液氮冷却时低温挡板可达到很高性能。

·TSP低温挡板可在水冷却或液氮冷却下运行。

·常温屏蔽罩不需要冷却。

·可与具有双法兰或带侧孔的离子泵集成。

·安装在外径 8 英寸的 ConFlat 法兰上，还包括一个用于安装 TSP 泵芯的 2.75 英寸 ConFlat 法兰。

·可独立安装在深度/间隙为 11 英寸的任意 8 英寸 (NW 150) CFF 接口上。

·不包括 TSP 泵芯。

产品尺寸

产品选型