Agilent安捷伦CombiNEG 150-1000 和 150-2000 吸气剂复合型离子泵在 150 L/s VacIon 泵中集成了大容量 D1000 或 D2000 非蒸散型吸气剂泵芯。三极离子泵或二极离子泵可为氩气和其他残留惰性气体提供较高抽速，而吸气剂泵可为可吸收气体提供较高抽速，因此具有同时处理大量惰性气体、氢气和其他可吸收气体的优势。内部防护罩可延长 NEG 的使用寿命。

通用而紧凑的CombiNEG 150-100/2000吸气剂复合型离子泵适合要求较高的应用，此类应用中需要在超高等真空状态下达到超高抽速。

产品参数

产品特点

·三极离子泵抽气单元可快速抽除惰性气体，而吸气剂泵可快速抽除活性气体，二者结合可达到较高的组合抽速，缩短达到超高真空等真空状态所需的时间。

·烧结吸气剂泵的设计紧凑，可提供比质量较差的压结末吸气剂泵更好的解决方案，并消除粉末进入系统的风险。

·配备 ConFlat 4.5 英寸非旋转型法兰以及用于吸气剂泵的额外 ConFlat 2.75 英寸法兰。

·可以选择不同方向的真空穿导件，实现灵活性。

·无活动部件，确保在高灵敏度应用中无振动运行。

·低漏电流可提供稳定的真空压力读数。

·低磁场可减少系统干扰。

·在 > 400 °C 的条件下进行真空处理，并在真空下夹止，确保安装前的清洁度和真空密封性。

产品选型