Agilent安捷伦CombiNEG 40-400吸气剂复合型离子泵在 40 L/s VacIon 泵中集成了大容量 D400-2 非蒸散型吸气剂泵芯。吸气剂泵可为活性气体提供超高抽速（高达 400 L/s 氢气），而三极离子泵可为氩气和其他残留惰性气体提供较高抽速。经优化的磁场和真空烧制工艺进一步提高了性能，可减少低压下的气体逸出。内部防护罩可延长 NEG 的使用寿命。

这是一款可处理大量惰性气体的泵，能够以高抽速和大容量处理甲烷、氩气和氦气。这款泵非常适合需要在超高等真空状态下达到高抽速的高要求应用。

产品参数

产品特点

·三极离子泵抽气单元可快速抽除惰性气体，而吸气剂泵可快速抽除活性气体，二者结合可达到较高的组合抽速，缩短达到超高真空等真空状态所需的时间。

·烧结吸气剂泵的设计紧凑，可提供比质量较差的压结末吸气剂泵更好的解决方案，并消除粉末进入系统的风险。

·配备 ConFlat 4.5 英寸非旋转型法兰以及用于吸气剂泵的额外 ConFlat 2.75 英寸法兰。

·可以选择不同方向的真空穿导件，实现灵活性。

·无活动部件，确保在高灵敏度应用中无振动运行。

·低漏电流可提供稳定的真空压力读数。

·低磁场可减少系统干扰。

·在 > 400 °C 的条件下进行真空处理，并在真空下夹止，确保安装前的清洁度和真空密封性。

产品尺寸

产品选型