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Agilent安捷伦SAES GETTERS NEG法兰是标准的CF型法兰,可以完成CombiNEG 吸气剂复合型离子泵的封装,以正确的方式将吸气剂泵整合到离子泵内。可使用特殊接头将 NEG连接到控制装置,特殊接头可耐受高达400 °C的烘烤。
每件NEG法兰均经过专门设计,可与相应的吸气剂泵适配,且所有NEG法兰均已通过1.5 x 10–10 scm3/s条件下的泄漏测试。法兰的设计可确保整个泵组件简单、紧凑,具有体积小巧、可靠性高的优势。
产品选型
X3605-68020 | CF 35 基座法兰 | 带连接器,用于 D400-2 吸气剂泵 |
X3605-68022 | CF 100 基座法兰 | 带连接器,用于 D-1000 吸气剂泵 |
X3605-68023 | CF 100 基座法兰和连接器 | 带加热器,用于 D-2000 吸气剂泵 |