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JJ X-Ray 真空狭缝 IB-C180-HV基于我们的 IB-C80-HV 的修改版本。与我们的其他真空狭缝系统类似,它保证在真空度低至 1E-5 mbar的压力下也能平稳运行。
它具有四个可单独移动的刀片,提供 180 毫米 x 180 毫米的大孔径。已特别处理确保真空产生的压差压力不会对刀片运动的操作和精度产生不利影响。
电机安装在空侧导螺杆的另一端。推荐的电机是 Oriental Motor PK245M-01B,400 步/转。结合 1 mm 螺距丝杠,这提供了每步 2.5 μm 的分辨率。使用微步控制器驱动,可以实现低于 1 微米的机械分辨率。
狭缝与真空系统的连接是通过 DN320LF 法兰进行的。狭缝外壳有一个用于安装卡钳的安装孔和一个用于 O 形圈垫圈的光滑凹槽。
技术参数
产品尺寸