不受样品气体压力的影响，经过预处理减压除水除尘等手段，进行测量，精度比氧化锆高。
   价格也贵，平时预处理的维护占主要工作，还需要有一些备件支持。
   在加热炉应用中，此类仪表也可以进行测量，应该范围更加广泛些。

顺磁法是一种基于氧气分子具有顺磁性的原理来测量氧气浓度的方法。氧浓度分析仪中的顺磁传感器通常包括一个磁场发生器和一个磁感应器。当氧气分子通过磁场时，会受到磁场的作用而发生偏转，从而产生一个与氧气浓度成正比的信号。通过测量该信号的大小，可以推算出氧气浓度。