质量流量控制系统
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一、操作便捷性：
1、方便的气路快速连接口，简化了流量控制系统与其他设备的链接。
2、配置有三种接口（宝塔式接口、双卡套式接口、KF接口），方便组合多种连接方式。
二、控制智能化：
采用数显流量显示仪，配合质量流量控制器，采集数据并控制流量。具有控制精度高，重复性好，响应速度快，稳定可靠等特点（气体质量流量控制器） 。
三、使用安全性：
1、采用单向阀技术，使气体流量在可控压力范围内控制，保证安全。
2、采用混气灌装置，使气体可以在充分混合后导入工作室内，确保不会泄漏。
四、周边拓展性：
1、该气体质量控制系统可配我公司生产的真空/气氛管式电炉及真空/气氛箱式电炉使用。
2、该气体流量控制系统可以与我公司生产的真空控制系统组合使用。
3、可为用户定制多路气路产品。
规格 | 产品型号 | 气路数量 | 流量控制方式 | 连接方式 | 流量计 | 流量范围 | 精度 | 响应时间 | 工作温度 | 工作压力 | 外形尺寸mm | 重量 | 标准配件 |
质量流量 | ZL-02H | 两路 | 数显流量控制仪 | 双卡套接头 | 质量流量计 | 0-500sccm(标准毫升/分）氮气标定 | ±1%F.S | ≤4sec | 5-45℃ | 进气压力0.05-0.3Mpa | 530x670x710 | 48kg | PUΦ6管/每路2米Φ4*15mm不锈钢衬管5个 |
ZL-03H | 三路 | ||||||||||||
ZL-04H | 四路 |
