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真空管式电阻炉,具有合理的性能设计,集多项功能于一身,安全性,可靠性,实用性均达理想效果。
1.温度1700℃,加热区为300mm。
2.炉体采用双层炉壳结构,双层炉壳之间装有风机,可以快速升降温,炉壳表面温度低。
3.炉管采用99高纯刚玉管、两端采用SUS304高真空法兰密封。
4.炉膛材料采用优质的进口氧化铝多晶纤维真空吸附制成,节能50%,加热炉膛为一体化,方便取放实验物料、更换炉管。加热元件采用硅钼棒。
5、电炉温度控制系统采用人工智能调节技术,仪表控制精度为±1℃,具有PID调节、模糊控制、自整定能力并可编制各种升温程序,具有超高温报警功能,具有热电偶损坏断电功能,具有内置参数密码控制功能。
6、升温速度为0-20℃/min,可编写30段自动升温程序,可控硅控制,配备数显LED电压表、电流表,选用B型热电偶。
7、可选配RS-485通讯接口,数据管理软件,具有无纸记录历史数据和升温曲线,校正温度偏离误差的功能,可以管理多台设备和远程故障诊断分析。
8、多种安全防护设计,安全性能好,使用寿命长。
9、电炉可以抽真空、通气氛,真空度可以达到10pa(机械泵),如果需要更高真空度可以选择分子泵,达到6.67x10-3pa。
10、炉体尺寸:704x695x1100mm(深x宽x高),重量:210kg。
一 管式电阻炉标准配置:
1、304不锈钢法兰1套
2、密封圈4只
3、炉塞 4只
4、炉勾 1把
5、说明书、保修卡、合格证 1套
6、刚玉管 1支
二 选配配置:
1、玻璃转子流量计、质子流量计和进出口管道
2、真空泵(机械泵、分子泵)
3、安装调试,培训
4、刚玉坩埚
5、备品备件
6、报警器(超温、设备异常)与蜂鸣器(设备运行结束提示
7、自动进气(气体保护)、自动放气(超压)、自动抽真空
8、一路及多路CVD供气系统
9、真空计
三技术参数: