小坂Kosaka EC2500H 真圆度、円筒形状测定机
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·的多孔质静压空气轴承系统:
Kosaka的多孔质静压空气轴承系统工作台,由于特殊设计,有以下特点:
1.具高刚性高负荷能力,故对偏负荷以及外部震动有强力之抑制能力。
2. 压力分布性均匀、安定性的情况下,可得到高回转精度。
3.空气消耗量非常之少(为传统的1/3),稳定度高并可达经济之效果。
有以上三特点,即是为了达到高精度,安定性之测量结果的坚强保证。
·上下移动轴的真直度、平行度精度保证:KOSAKA圆度仪可与回转精度相结合,圆筒形状最重要的精度,除了圆筒度外还可作真直度、平行度等测定。
·高性能自动求心/倾斜、补偿含载物台:求心与倾斜,乃采用独立两层结构,不会相互干扰。倾斜方式是于table面上50mm处为假想中心采用滑动方式移动。另外,较大偏心时,利用高科技数位游标尺模式来求心。纵使高倍率时,1um之自动位置也可以达成此性能,将大幅提高作业之效率及精度。
·滤波器(filter):Kosaka 真圆度测定机有真直度系及真圆度系两种(另区分2CR/GAUSSIAN)可适应任何规范。