• NX20-300型半导体原子力显微镜简介：

• 可用于 300mm晶片圆测量和分析的自动化纳米测量工具

  Park NX20 300mm是业界大样品原子力显微镜，支持300mm×300mm全程机动化。新升级的Park NX20系统专为失效分析和质量控制实验室设计，可有效地检测整个300mm晶圆，且无需任何繁琐的样品位移。尽管扩大了支持300mm样品的机动XY工作台，但Park的创新性振动隔离技术仍然能够将系统噪声保持在低于0.5 (Å) RMS，通常是0.3 Å RMS的水平。

  经检验的原子力显微镜性能和单击-原子力显微镜自动化取消了样本调整的需求，并使Park NX20的扫描过程尽可能高效和便于使用。通过我们的“批处理模式(Program Mode)”界面，用户可以在整个300mmx300mm区域轻松实现可靠与可重复的顺序多站点测量。NX20 300 mm从而成为需要扫描大样品的FA、QA和QC工程师的。

• 专为大样品晶圆检测而建

  NX20 300 mm进行了全新设计，可达到大样品的测量。整个300mm晶圆区域可进行低噪声原子力显微镜测量分析。这开启了一个全新的自动化测量范围，让工程师可以更快捷、更简便、更精确地开展工作。

• 灵活的300mm样品吸盘

  Park NX20 300mm真空吸盘支持各种尺寸、形状和类型的晶圆，让用户几乎可准确扫描任何样品。

  

• 300mm XY轴工作台

  机动化的300mm XY轴工作台允许用户在300mm的全部区域内移动原子力显微镜的测量位置。

  

• NX20 支持300mm样品台，性能已被证实

  因其的易用性和自动化以及不受影响的精度，NX20已是FA、QA和QC工程师的。凭借其支持300mm电动XY轴工作台的扩大平台，NX20 300mm更上一层楼，允许用户轻松地以的精度检测更大的样品。

• 在完整300mm晶圆上扫描多个位点
  

  SmartScan™允许用户从位点到位点和样品到样品的层面上，借助基于网格和晶圆的模式，进行自动顺序测量与表面形态、高度和表面粗糙度的比较。这可以大大提高扫描大样品时的用户便利性和生产效率。

• 强大的工作创建功能

  格式创建流程简单，允许工程师设置每个批次的位置、名称、数量和类型所定义的预设。

• 针对广泛应用性进行优化

  NX20 300mm为众多应用提供自动格式的原子力显微镜测量，为纳米级的样品提供高级测量和分析。具有粗糙度、高度和深度测量，缺陷检查，电气和磁故障分析，热性能表征和纳米力学性能成像等能力，该原子力显微镜是检测大样品的FA、QA和QC工程师执行各种任务的理想选择。

  
  

• NX20-300型半导体原子力显微镜技术特色：

  1）采用非接触式工作模式：

  PARK公司是目前一家真正实现非接触测量模式的原子力显微镜厂家，在不影响测量精度的前提下，可实现样品与针尖的非接触测量，避免了由于针尖磨损带来测量重复性差与探针磨损快的缺点。

  

  下图是测量CrN样品的实例，CrN样品的硬度很高，具有三角形结构，采用非接触模式测量100幅图后，图像质量几乎无变化，针尖几乎无磨损！！！

  

 2）探测器噪声水平为业界：0.02nm

          Z轴探测器是全新的NX系列原子力显微镜的核心技术改进之一,它是Park的新型应变传感器,凭借着0.2埃的超低噪声，它一跃成为行业内噪声的Z轴探测器,检测原子台阶及其容易。

3）采用高性能平板扫描器：采用技术得三轴分离的平板扫描器，在整个80μm的扫描范围内误差＜1nm !!!!

4）操作极其简单：

        - 具有“智能扫描模式”Smart scan：这是PARK公司的技术之一，用户只需要选择扫描速度及扫描范围，系统即可自动调整反馈,无需寻找共振峰,无需调整反馈参数gain值

       - 具有中文，英文等多种操作界面

       - 凭借着我们的预准直悬臂架，悬臂在装载时激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同轴视角（行业无二）让您可以轻松地找到激光光点。由于激光垂直照射在悬臂上，您可以凭直觉旋动两个定位旋钮，将激光光点随着X轴和Y轴移动。这样，您可以在激光准直界面中，轻易地找到激光并将其定位在PSPD上。此时，您只需要稍作调整实现信号的，便可开始获取数据。

   5）工业级别的XEA软件：具有自动识别，自动扫描，自动分析功能，大大节约了人工操作的误差及浪费的时间。

         6）导电原子力显微镜：

       Park导电原子力显微镜在市场中竞争力，不但有着全行业的电流噪声，且增益范围也是，并且可实现电流快速扫描功能，是半导体测试电流的标准。

         - 业内的电流噪声(50fA)

        - 业内的电流(10mA)

• NX20-300型半导体原子力显微镜主要技术参数：

  - XY闭环扫描范围大：达100μm*100μm

  - Z向闭环扫描范围大：达15μm

  - 超高的测量分辨率：可达0.02nm

- 全自动扫描范围：300mm*300mm

- 具有快速扫描功能：达50Hz

• NX20-300型半导体原子力显微镜部分测试实例：