ELIAS-VUV 系列中阶梯光谱仪
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ELIAS-VUV
发射谱线分析光谱仪系列
高分辨率的中阶梯光栅光谱仪
· Intensity dynamics of up to 4 orders
· 光谱解析能力 (2.5 million-10 million)
· *成像质量
· 简单没有失误的操作控制
· Motorized optomechanics
ELIAS的超高分辨率得益于超大中阶梯光栅的应用及与之匹配的光路设计——中阶梯光栅通过非常高的衍射级次可获得*的理论分辨率（femtometer level）；LTB的工程师通过两个方面的设计实现超大中阶梯光栅的理论分辨率：
· 逼近衍射极限的消色差成像光路
· 足够高的线色散来确保以5~10个像素（CCD）来解析光谱谱线的半高宽；
ELIAS利用宽达360mm的超大中阶梯光栅（Echelle grating）以利特罗（Littow）自准直结构构成光路；ELIAS不同于靠干涉方式测量光谱的分析设备，ELIAS的中阶梯光栅的高衍射级次及高级次等效于零级的衍射能量分布，可通过CCD实现宽光谱直拍，因此ELIAS非常适合脉冲激光光谱的分析应用（通过外部TTL触发可协同激光器工作）。ELIAS可以配置背照型科学级CCD作为探测器可获得非常理想的信噪比（104）
规格参数（Specifications）
| 可探测信号模式 | CW/Pulsed |
可探测光谱范围 | 190~1100nm(157nm possible) |
光谱解析能力(λ/∆λ) | 8,800,000 |
光谱分辨率 | 22fm@193nm |
| 光谱精度 | 0.1pm |
| 光谱窗口 | >0.8nm |
| 可探测脉冲能量 | <10μJ |
信号输入模式 | Fiber，SMA，Mirror，Free Space |
校准方式 | full auto/Manual；Hg（Neon）Lamp |
触发模式 | TTL+5V |
| 工作环境要求 | 温度：10~30℃；湿度：<65% |
ELIAS VUV :ELIAS I 的vacuum-suited型号，用于波长为157nm的F2激光的光谱分析
| Model | ELIAS VUV | |
|---|---|---|
| Pass | single | double |
| Wavelength [nm] | λsimul [pm] | λsimul [pm] |
| 157 | 45 | 14 |
| 193 | 48 | 15 |
| 248 | 64 | 20 |
| 266 | 73 | 25 |
| 532 | 146 | 49 |
| 766 | 244 | 82 |
| 1,064 | 292 | 98 |
| Wavelength [nm] | FWHM [pm] | FWHM [pm] |
| 157 | 0.254 | 0.083 |
| 193 | 0.283 | 0.086 |
| 248 | 0.376 | 0.117 |
| 266 | 0.428 | 0.147 |
| 532 | 0.856 | 0.294 |
| 766 | 1.400 | 0.482 |
| 1,064 | 1.711 | 0.588 |
应用领域（Application）
· 激光诱导击穿光谱（LIBS）
· 准分子激光光刻技术
· 测量二极管激光器的光谱、时间稳定度和固态激光器的发射谱线
