高效吸附-脱附催化燃烧设备利用高吸附性能的活性碳纤维、颗粒炭、蜂窝活性炭和耐高温高湿整体式分子筛等固体吸附材料对工业废气中的VOCs进行富集，对吸附饱和的材料进行强化脱附工艺处理，脱附出的VOCs进入高效催化材料床层进行催化燃烧或蓄热催化燃烧工艺处理，进而降解VOCs。

主要工艺流程包括预处理、吸附、脱附-燃烧三个阶段。

①预处理：含VOCs废气在吸附净化前一般先经高效纤维过滤器或高效干湿复合过滤器过滤，对废气粉尘等进行拦截净化。

②吸附阶段：去除尘杂后的废气，经合理布风，使其均匀地通过固定吸附床内的吸附材料层过流断面，在一定停留时间内，由于吸附材料表面与有机废气分子间相互作用发生物理吸附，废气中的有机成份吸附在活性炭表面积，使废气得到净化；实际应用中，净化装置一般设置两台以上吸附床，以确保一台处于脱附再生或备用，保证吸附过程连续性，不影响实际生产。

③脱附-燃烧：达到饱和状态的吸附床应停止吸附转入脱附再生，脱附后的废气进入燃烧阶段，即RTO或RCO废气处理工艺。