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| 主要特性 | AWM5101 | AWM5102 | AWM5103 | AWM5104 |
| 流量范围（满量程） | 0-5 SLPM | 0-10 SLPM | 0-15 SLPM | 0-20 SLPM |
| 后缀-标定气体 | VA-氩气（Ar） VC-二氧化碳（CO2） VN-氮气（N2） | |||
| | 最小值 | 典型值 | 值 | 单位 |
| 推荐供电电源 | 8.0 | 10.0±0.01 | 15 | VDC |
| 功耗 | -- | -- | 100 | mW |
| 零点输出 | 0.95 | 1.0 | 1.05 | VDC |
| 零点漂移 | -- | ±0.050 | ±0.2 | VDC |
| 共模压力 | | | 50 | psi |
| 温度范围 | -20 | | +70 | ℃ |
| 冲击指标 | | 100g峰值 | | |
| 线性误差 | | ±3.0%读数 | | |
| 迟滞&重复性 | | ±0.5%读数 | | |
| 连接器 | AMP（103956-3）或MICROSWITCH（SS12143） | |||
| 泄露 | 0.1psi/min ，在静态中 | |||
