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纳米位移平台

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更新时间:2023-07-18 13:37:37浏览次数:140次

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产品简介

纳米位移平台

详细介绍

3-Axis PiezoBlock系列

特点:

在75V电压驱动下在X, Y, & Z方向进行90微米的压电运动

各带有9个安装孔的三个安装表面

小尺寸(55 mm x 55 mm x 55 mm)

弯曲设计提供了平滑持续运动和高硬度

高共振频率减小了外部振动的影响

可选应变式传感器提供好的重复性( 50纳米)

6-Axis NanoMax系列

特点:

移动范围:4mm (x, y, z), and 6° (xφ,yφ,zφ)

闭环工作时压电驱动可选

高分辨率:50nm & 0.3 Arcsec(手动), and 10nm & 0.06 Arcsec(压电驱动)

高硬度

高共振频率:>130Hz (10%)

主动热补偿

低成本


关键词:传感器

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