SC26

产品名称：电镜屏蔽/主动消磁系统
产品型号：SC26
品 牌：英国SpicerConsulting
产 地：英国

产品参数

晶片传输机器人在300 mm的晶片中活动，会产生9 KHz的磁场，会限制电子束的性能，以及下一个半导体CD节点。SC26是一种宽带消磁系统，可以实现从DC到9 KHz以上范围的磁场消除。为了实现宽带消磁，SC26采用低电感场消除电缆，安装在电子束工具附件中。

SC26具有2个200 KHz的AC磁场传感器（蓝色），可以耦合，优化电子束性能，对于低至10 Hz的磁场具有良好效果。也可以用于DC磁场消除，只需每个通道添加一个SC24/DC+AC传感器和一个传感组合器。

SC26并不像SC24那样安装使用，不能用粗线缆构建一个房子结构，从而获得较低的磁场。

在电子束300 mm的范围内获得良好的消磁效果

实时、宽带消磁，从DC到9 KHz以上磁场

磁场跃变响应速度：10μs以内
通过稳定磁场环境确保您购置的电子束科技设备应有性能
消除和监测交流磁场
自动运行，连续实时补偿磁场

完整的X, Y, Z三轴消磁系统
可消除场强高达60mG (6.0 μT) pk-pk智能用户界面，显示系统需为3.5英寸以上LCD TFT 彩色面板,其参数设定及操作皆为微电脑控制

可同时显示AC和DC磁场值，单位可选高斯或者特斯拉
当X&Y&Z轴磁场检出<RMS250uG RMS 时OK绿色指示灯会亮
高灵敏度传感器，可精确反馈环境磁场变化；支持双传感器，用于抵消TEM透射电镜和高突变环境磁场
USB监控端口
本设备为免校正仪器,其内部的自我归零功能会自动校正
低成本高性能系统