108 离子溅射仪

108 离子溅射仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2021-07-29 22:00:45
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广州竞赢化工科技有限公司

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产品简介

108是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜

详细介绍

108是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

主要特性

技术参数

溅射系统

样品室大小

直径120mm x 120mm

靶材

标配黄金Au靶,Pt等其它靶材可选

大小:直径57mm x 0.1mm

样品台

可以装载12SEM样品座,高度可调范围为50mm

溅射控制

微处理器控制,安全互锁

溅射电流

5~45mA可调

溅射头

低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩

计量表

真空: Atm - 0.001mbar,电流:0~50mA

厚度监控
(
选件)

使用MTM-10高分辨厚度监控仪(选件)精确测定所镀膜的厚度

控制方法

具有气体换气和泄气功能,带有“暂停”控制的数字定时器(5300s

真空系统

真空泵

2级直连式高速真空泵

抽气速率

3.0 m3/小时 ,真空度到 0.1mb所需时间30.

极限真空

5 x 10-3mba

桌上系统

真空泵可置于抗震台上,全金属集成耦合系统

铜网镀碳制成负染色蛋白质样品案例

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