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108是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性
技术参数
溅射系统 | |
样品室大小 | 直径 |
靶材 | 标配黄金Au靶,Pt等其它靶材可选 大小:直径 |
样品台 | 可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为 |
溅射控制 | 微处理器控制,安全互锁 |
溅射电流 | 5~45mA可调 |
溅射头 | 低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩 |
计量表 | 真空: Atm - 0.001mbar,电流:0~50mA |
厚度监控 | 使用MTM-10高分辨厚度监控仪(选件)精确测定所镀膜的厚度 |
控制方法 | 具有气体换气和泄气功能,带有“暂停”控制的数字定时器(5-300s) |
真空系统 | |
真空泵 | 2级直连式高速真空泵 |
抽气速率 | |
极限真空 | 5 x 10-3mba |
桌上系统 | 真空泵可置于抗震台上,全金属集成耦合系统 |
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