详细信息

一、主要特性：

• 光束质量: M²<1.5

• 脉冲能量达200μJ

• 脉宽可小于10ps

• 峰值功率达20MW

• 重复频率可达15MHz

• 平均功率达100W

• 波长1064、532、355、266nm

二、产品应用：

• 光伏产业，如:硅晶圆的划片、打孔和切割；薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和绝缘层的烧蚀

• 印刷工业，如:印刷轮雕版

• 显示领域，如:构造导电层，横向连续硅结晶

• 电子行业，如:印刷电路板的钻孔和切割

• 工具制造和机械工程，如:三维快速成型

三、参数规格： 

 

波长[nm]	1064	532	355	266
高光束质量 M2	1.1	1.1	1.5	2
平均功率[W]	100	60	30	10
重复频率[MHz]	15	15	15	15
单脉冲能量[μJ]	200	120	70	30
脉宽[ps]	8	8	8	8
能量稳定性[%]rms	1	2	3	4
定时稳定性[ns]	60	60	60	60
偏振比	>100:1	>100:1	>100:1	>100:1
出口光斑直径[mm]	3	3	3	3
满量程发散角[μrad]	500	250	226	226
电源	90V-264V,50/60Hz  1KW
水冷机	230,208,115,100V,50/60Hz  0.8KW
工作温度	15-30℃
激光头	650mm*268mm*139mm 36kg
电源及水冷机组	19"*10HU*650mm  62kg