详细信息

 

IXION-193是一款单频全固态激光器。应用于光学度量，193nm的校准光源，高功率ArF的带宽控制。该激光器的光谱带宽接近理论傅里叶极限。

 

激光器的中心波长可以在190-194nm之间选择，选择精度高达0.01nm。

 

选项：内部集成一个高精度光谱仪，光谱精度高达0.001nm。可实现激光器的可控性。

 

应用领域：

· 193nm光学度量

· 光谱仪校准

· 干涉度量分析

· 的种子源

 

产品特点：

· 工业化应用

· 二极管泵浦

· 密封外壳

· 槽安装激光二极管

· 光学参数优良

· 功率稳定度高

· 免维护，热电控制

· 19寸电源和冷却

· LabVIEW驱动

· 集成光谱仪，实现波长的在线控制（选项）

 

产品参数：

型号	IXION-193 SLM
波长	193.368nm
平均功率	＞10mW
脉宽	＜10ns
单脉冲能量	1.6μJ
重复频率	6kHz
M2	＜1.6
光谱线宽	＜120MHz = 0.015pm = 0.004cm-1
光谱控制	＞80GHz = 10pm = 2.6 cm-1
相干长度	＞1m

 

系统尺寸（L×W×H），重量：

激光头	795×710×154mm3	74kg
电源（冷却装置）	600×600×600mm3	45kg

 

电源参数：

85-264VAC

47-63Hz

650W