精密离子切割抛磨系统Ilion II—Gatan 697
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采用低加速电压切割、抛光、研磨来制备无损的
l 利用样品交换室和液氮冷却载物台，为电子束敏感样品定制了快速工作流程
l 对抛光过程进行实时观察，期间使用了带数字成像功能的光学显微镜。可利用 Gatan 的 DigitalMicrograph® 软件存储和分析图像
l 10 英寸彩色触摸屏界面显示 Ilion™ II 配方，确保操作中得到可重复的结果
l 极其适用制备阴极发光和 EBSD 等分析技术的无损表面，因为这些分析信号在样品的极表面产生
