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本设备主要用于碳素制品的化学气相沉积增密处理,或以碳氢气体为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理及碳毡制品真空碳化其热处理。
1.双层SUS304炉体结构,中间通以冷却水,有效降低炉体表面温度,减少高温伤害,降低对环境的影响;
2.采用*的保温材料及隔热结构,导热系数低,保温效果好,即使在很高的温度下也能有效隔绝热量,节约能耗;
3.能够准确控制气体流量和压力,通过特殊的导气结构和装置,大大提高产品的合格率,降低沉积时间;
4.通过特殊的过滤装置,使其热解过程的碳粉几乎*过滤,不进入真空机组,大大延长了真空机组的使用寿命;
5.人性化配置,既可以手动操作,也可以实现一键智能操作;
6.型式多样化,立式上开门、立式底升式、卧式侧开门,任意选择;
7.本产品接受非标定制。
型号 | 工作区尺寸 | 温度 | 温度均匀性 | 冷态极限真空度 | 压升率 | 加热功率 |
HVCVD-2030 | Φ200×300 | 1500 | ±5 | 50 | 3 | 25 |
HVCVD-2540 | Φ250×400 | 1500 | ±5 | 50 | 3 | 40 |
HVCVD-3050 | Φ300×500 | 1500 | ±5 | 50 | 3 | 55 |
注:以上技术参数可根据工艺进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。 |