硅片行业超纯水设备解决方案
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使用超纯水设备的好处
产品特点:
1.去除悬浮颗粒和沉淀 2.除去溶解性离子 3.去除气体 4.防止膜堵塞,保护RO膜 5.可降低能耗,节约资源
产品特点:
1.去除溶解性离子 2.去除微生物和病毒 3.提高水质 4.保障产水的稳定性 5.降低企业生产成本
产品特点:
EDI的作用就是通过除去电解质(包括弱电解质)的过程,将水的电阻率从0.05~1.0MΩ·cm提高到5~16MΩ·cm
产品特点:
无化学析出的核子级树脂,去除纯水中残余的微量带电离子及弱电解质,使水质达到18MΩ·cm以上
产品特点:
脱气系统:是控制液体脱气、供气的中空纤维膜组件。具有致密表皮层的中空纤维不透过液体,只透过气体,适合用于液体的脱气、供气。
TOC系统:采用UV-180nm单波长紫外技术,并通过高剂量的UV-185紫外关催化,在水中产生。OH翔基自由基,对水中的有机物进行氧化降解,以达到降低水中TOC的含量。
超纯水可以用于硅片行业中各个环节的制造过程,包括硅晶圆清洗、切割、蚀刻、抛光和清洁等。它能够去除杂质、颗粒和污染物,确保在制造过程中的高纯度和无污染,从而提高硅片的质量和可靠性。