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产品特点：
水含量＜0.1ppm
氧含量＜0.1ppm
泄露率＜0.001vol%/h
电磁阀模块化设计
SIMENS微处理控制器
HEPA高效过滤器
变频节能控制系统
多重预警功能提示
除烟尘系统
配置真空加热烘箱
产品用处：
1、半导体工业中MOCVD技术
2、特种灯（HID）开发与生产
3、微电子、激光及等离子焊
4、OLED/PLED开发与生产
5、锂离子电池开发与生产
6、无机/有机化学研究
7、金属卤化物/金属粉末/陶瓷粉末研究
8、纳米材料研究
9、催化剂研究
10、YAG激光焊接
11、食品微生物检验
12、医疗卫生临床标本检验
