美国AALBORG GFM17数显气体质量流量计

GFM17GFM37 GFM47 GFM57 GFM67 GFM77用于显示和输出气体流量。

性能

精确度：(包括线性度) ±1%满量程，在15-25℃的气体温度和0.4-4.1bar的压力

可选±1%满量程（标定精度）在给定的温度与压力值下。

重复性：±0.5%满量程

相应时间：在满量程25-99%范围内，2秒钟内达到2%精度。

温度系数：0.15%满量程/℃

压力系数：0.01%满量程/psi(0.07bar)

气体和周围温度：5℃-50℃

输出信号：线性0-5Vdc.1000欧姆最小负载；4-20mA 0-250欧姆闭环电阻

感测器输入功率：+12Vdc;200mA；有+24Vdc供选择

时间常数：800ms

气体压力：1000 psig(70bar)

压力：20 psig(1.4bar)

接液材质：A：铝系列：为阳极电镀铝、316不锈钢、铜和氟橡胶圆环

          B：不锈钢系列：316SS、氟橡胶圆环、可选氯丁橡胶圆环

方位灵敏度：水平到垂直旋转低于15度；标准校准是在水平位置

连接方式：见表格

泄露性：氦气1*10^-7sml/sec到外表环境

选型表

附表：流量范围10sccm到1000sL/min（N₂）