直流四探针电阻测试仪性能特点

v 多种测量参数可选

v 测量数据自动保持功能

v 的通讯接口可以与PC进行数据通讯及对仪器的远程控制

直流四探针电阻测试仪以测试硅类半导体、石墨烯、热敏材料、金属、导电塑料等硬质材料的电阻率和方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测试柔性材料导电薄膜、PE膜、电容卷积膜、金属箔、金属涂层或者碳纸、薄膜、陶瓷、玻璃基底上导电膜（ITO膜）、锂电池电池电极片、氢燃料电池电极片或纳米涂层等半导体材料的电阻率和方阻。仪器适用于半导体材料厂、高等院校和科研单位对导体、半导体材料导电性能的测量。

BEST-300C 型材料电导率测试仪是运用四探针测量原理测试试导体、半导体材料电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。

仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头和测试台等三部分组成。

主机主要由数控恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式单片机系统组成。自动/手动量程可选；电阻率、方阻、电阻测试类别快捷切换：仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入，简便可靠；具有零位、满度自校功能；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电锂电池供电，适合手持式变动场合操作使用！

探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO 膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头， 也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。

仪器具有测量范围宽、精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、外形美观、使用简便等特点。

仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。

技术参数

1. 测量范围、分辨率（括号内为拓展量程，可定制）

电 阻：10.0×10-6  ～ 200.0×103 Ω, 分辨率 1.0×10-6  ～ 0.1×103 Ω

（1.0×10-6  ～ 20.00×103 Ω, 分辨率 0.1×10-6  ～ 0.01×103

Ω）

电 阻 率：10.0×10-6  ～ 200.0×103  Ω-cm 分辨率 1.0×10-6  ～ 0.1×103 Ω

-cm

-cm）

（1.0×10-6  ～ 20.00×103  Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103  Ω

方块电阻：50.0×10-6  ～ 1.0×106  Ω/□ 分辨率 5.0×10-6  ～ 0.5×103 Ω/

□

（5.0×10-6  ～ 100.0×103  Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×103 Ω/

□）

2. 材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)

直 径： 圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm，手持方式不限 方测试台直接测试方式 180mm×180mm，手持方式不限. 长(高)度： 测试台直接测试方式 H≤100mm, 手持方式不限.