1200℃双温区开启式管式炉OTF-1200X-II

操作视频

· 温度可达1200℃。

· 采用ABB电器元件。

· 两个200mm长的加热区，可以独立控制温度。

· 双层壳体结构，并带有风冷系统，可有效降低壳体表面温度。

· 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。

· 开门断电，提高实验安全性。

热偶：K型热偶     建议升温速率：≤10℃/min  

温度：1100℃ （1200℃＜1h）  电源：AC220，50Hz   功率:3KW

· 高纯石英管尺寸：

· 25 O.D x 19 I.D  

· 50 O.D x 44 I.D

· 60 O.D x 55 I.D

· 80 O.D x 75 I.D

· 100 O.D x 95 I.D

· 加热区长度：400mm (双温区：200mm+200mm)

· 掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层，可以极大程度延长使用寿命）

· 采用一对SS304不锈钢真空法兰与高温硅胶密封圈密封

· 两个针阀已分别安装在两个法兰上（下图）

· 一个真空压力表安装在一侧法兰（下图）

· 法兰上标配安装的是Φ8的宝塔嘴接头

· 为了获得较好的抽气速率可以配用KF25的转接头

· 为了较好地向炉管中通入气体可以配用1/4"的不锈钢卡套接头

· 可选：您可以选购kf25真空口法兰

· 可选：您可以订购法兰支架

· 包含一款YD518P型温度控制器

· PID自动控温系统

· 智能化30段可编程控制

· 仪表控温精度：±1℃

· 两个温区分别有两个独立的温控系统控制

· 默认DB9 PC通信连接端口

· 通过MET认证

· 可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

· 定期对管式炉进行温度校准，可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括

· 48”L（1/4”OD）K型热电偶校准

· 一Omega温度校准器

· 热电偶补偿线

·关闭时外形尺寸：640 L x 420 W x 550 H mm

·开启时外形尺寸：640 L x 420 W x 780 H mm

·炉膛尺寸：120x200X2

· 约45Kg

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

· 通过机械泵可达到50mTorr（参考值，销售）

· 通过分子泵泵可达到10E-5 Torr（参考值，销售）

· 可选购一个冷真空阱，以避免真空泵造成污染（见下图）

所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

· 炉管内气压不可高于0.02MPa

· 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全（见图1）

· 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

· 石英管的长时间使用温度＜1100℃

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）

· 设备使用过程两边需添加管堵，保证恒温区和法兰密封性（见图2）

       图1               图2

·如何在MTI管炉上放置管堵和真空法兰

·为了在管式炉内获得准确的温度，在使用前需要校准温度，请点击这里了解如何使用

x22%5CCal-OTF1200x22-v1.pdf">·你可以每个温区设置不同温度来构造CVD沉积的温度梯度，点击链接查看如何构造温度梯度。