900℃小型RTP炉
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型号：OTF-1200X-4-RTP
产品概述：OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉，配有4" 石英管和真空法兰， 它是专为半导体或太阳能电池基片（达3“）的退火而设计，采用10KW红外灯管加热升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制，精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。
| 设备名称 | 900℃小型RTP炉--OTF-1200X-4-RTP （2019.9.27--科晶实验室审核） |
| 产品提示 | 科晶实验室邀请提示 图片未及时更新提示 多种配件可选提示 危险设备操作提示 |
| 主要特点 | ·快速升温，达50℃/s；快速降温，117℃/min。 ·超大管径φ110mm。 ·温度可达900℃。 ·法兰上安装有滑轨可直接推拉操作。 ·开门断电。
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| 基本参数 | ·工作温度：900℃(<10min)；800℃(<30min)；600℃(长期) ·升温速率：室温~800℃： 50 ℃/s，800℃~900℃： 10℃/s ·降温速率：60℃/min (<200 mtorr)，117℃/min (在一个大气压下) ·法兰：KF-25D型不锈钢高真空法兰 ·最慢降温速率10℃/min ·加热区长度：190mm ·控温精度：+/-1℃(欧陆表型温控仪表可达0.1℃) ·加热元件：8根红外灯管(每根1.5KW，图1、2、3) ·热电偶：可插入式的铠装热电偶，进口K型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下 ·功率：9KW(>60A 保险) ·设备电源：AC220V/50HZ 单相 ·循环水流量:0.5 m3/h ·标配流量计量程范围：16-160 ml/min
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| 尺寸 | ·760（L）×330（W）×530（H） mm （法兰关闭） ·1200（L）×330（W）×530（H） mm （法兰打开） ·炉膛尺寸：Φ180x190
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| 重量 | 70Kg |
| 认证 | 所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。
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| 保修 | 一年保修，终身技术支持。
特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩 埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和 酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
| 国家 | 名称：一种快速高温退火炉
编号：ZL-2011-2-0077168.4
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