小型程序控温蒸发镀膜仪--GSL-1700X-SPC-2 （2019.11.25—科晶实验室审核）

1.科晶实验室邀请提示  2.图片未及时更新提示  3.多种配件可选提示 

·直径6英寸的石英腔体，便于清洁和放入样品。

·安装有一个2英寸的样品台，并且样品台可以旋转，使所制薄膜更加均匀。

·样品台和蒸发源之间的距离可以调节

·气体流量端口和阀门内置可用于腔室净化和CVD实验。

      安装操作视频              操作视频

·控温方式：手动控温/程序控温

·控温精度：+/-1℃

·腔体真空度：5*10^-3Pa（表压只能显示到 1*10^-1Pa）   

·样品室：石英腔体：167mm OD. x 152mm ID x 260mm H

·基片：可装载基片尺寸为 50mm

·输出电压：DC 18V             

·输出电流：≤ 20A       

·输入电源：AC220V/50HZ        

·输入功率：＜500W

·采用钨丝篮作为发热源，并且配有专用的氧化铝坩埚，热电偶安装在坩埚底部，以便于温度测量和控制。（图1）

·采用S型热电偶（工作温度为200℃-1500℃）（图2）

·可选B型热电偶（工作温度为1200℃-1700℃）

·安装有一个数显的温度控制器：可设置30段升降温程序，控温精度为+/- 1ºC（图3）

·温度控制器的时间设置以秒为单位，建议将升温/降温速率限制在1200ºC以下0.3ºC/s（20ºC/ min），在1200 - 1500ºC限制到0.15ºC/s（10ºC/min）

·仪器中配有钨丝篮及氧化铝坩埚（图4、图5）

        图1                 图2                     图3                    图4                  图5

·进气接口为1/4NPS，可向真空腔体中通入惰性气体，对腔体进行清洗，也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜

·进气口安装有一针阀，用于调节进气流量

·L440mmx W330mm x H630mm

40 kg

·所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

一年质保期，终生维护

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

         2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。