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型号：GSL-1700X-F3LV
产品概述：GSL-1700X-F3LV是一款CE认证的管式炉CVD系统，其真空泵采用双旋片式，混气系统采用三路浮子供气系统，温度可以达到1700°C，真空度可达到5x10-2 torr ，可以混合1-3种气体。
| 管式炉结构 | · 保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维可以环保节能，减少热量的损失 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命 | ||||||
| 加热元件 | 1800 grade MoSi2 ( 8根) | ||||||
| 工作温度 | 1650℃（<2h）（更新时间：19.12.10--JS2） 1600℃（长期工作温度） | ||||||
| 升温速率 | 5℃/min | ||||||
| 降温速率 | 5℃/min | ||||||
| 加热区长度 | 455mm (18") | ||||||
| 温控系统 | · 一个精密温度控制器 PID方式控制，通过可控硅 SCR · 可设置30段升降温程序. · 控温仪表操作视频 带有过热和断偶保护 | ||||||
| 控温精度 | +/-1℃ | ||||||
| 炉管材质和尺寸 | · 99.8% 高纯氧化铝 Al2O3 陶瓷管 · （标配）OD: 60 mm：ID: 50mm x1000 mm L （选配）OD: 80 mm：ID: 70mm x1000 mm L | ||||||
| 密封法兰 | · 两个不锈钢密封法兰，法兰上已经安装机械压力表（图片中的蓝表为选配）和阀门 · 通过机械泵真空压力可以达到5x10-2 torr 泄漏率6 mtorr/min | ||||||
| 输入电源 | AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率：5KW | ||||||
| 真空泵和配件 |
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| 气体流量计 | · 3个浮子流量计安装在一个移动架上，可以推动，可同时混入三种不同气体。 · 路气体流量范围为10-100 cc/min. · 第二路气体流量范围为16-160 cc/min. · 第三路气体流量范围为25-250 cc/min. · 一个压力表安装在移动加上，压力表直接于移动架内的混气箱相连接 ，来监测混合气体的压力 · 四个不锈钢针阀安装在前面板上
Front Panel Back Panel Gas Routes | ||||||
| 运输信息 |
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| 质保期 | 一年质保期，相关耗材除外，如炉管，密封圈等易耗件 | ||||||
| 质量认证 |
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