品牌
其他厂商性质
所在地
型号：OTF-1500X-6Z
产品概述：OTF-1500X-6Z是一款6温区开启式管式炉，刚玉管和不锈钢密封法兰，温度可达1500℃。六个独立的温控系统，采用S型热电偶，控温精度为 +/ - 1°C。此款设备可非常好地用于高温CVD和热处理应用。
| 炉体结构 | • 采用双层壳体结构，并且安装有风冷系统 • 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料，表面涂有高温氧化铝涂层，可提高温度均匀性和延长炉膛使用寿命 • 6个温区由6个独立的温控仪表控制，温度1500℃，控温精度可达+/ - 1°C • 总加热区长度为1440mm • 此设备可得到较长恒温区，也可获得不同的温度梯度 |
| 输入功率 | • 22KW |
| 工作电压 | • AC380V, 三相 50/60Hz（需要100A的空气开关） |
| 工作温度 | • 1500℃（小于30分钟） |
| 连续工作温度 | • 1400℃ |
| 建议升温速率 | • 5℃/min |
| 炉管 | • 材料：高纯氧化铝管（刚玉） • 尺寸： 60 O.D x 51 I.D x 1800mm L • 可选购直径达到 Φ100mm石英管（使用温度为1200℃） Φ100mm高温合金管（使用温度为1100℃） |
| 加热区长度 | • 总加热区长度：1440mm（包含温区之空白区） • 每个加热区长度Z1+Z2+Z3+Z4+Z5+Z6：284.5mm + 177.8mm + 177.8mm + 177.8mm +177.8mm+284.5 mm • 恒温区长度：800mm(+/- 2ºC,每个温区设置同样的温度） 注意：温度梯度可通过温区之间插入隔热环来进行调节。 |
| 温控系统 |
• 6个温区，由独立的PID程序温控系统控制 • 可设置30段温度程序，精确控制加热速率，降温速率和保温时间 • 带有超温保护和报警 • 控温精度：+/- 1 ºC • 6根S型热电偶（每个温区一根） • 可选： （1）通过安装控制模块，可由PC机操作高温炉。请额外订购一个MTS-02控制模块。 （2）如果您订购PC控制模块和高温炉，我们将在装运前对其进行安装和测试。我们建议您向我们订购一台笔记本电脑，以避免软件安装问题 |
| 欧陆控温系统（可选） | • 加热通道 • 程序可设置8或24段 • 控温精度: ±0.1ºC • 菜单：用PC工具菜单功能可被建立，用于选取不同的热处理工艺。对于用同一款设备对不同的材料采用不同工艺处理非常方便有用。 |
| 电脑，软件&无线控制（可选） | • Labview 温控系统，使用户可编辑温度曲线，管理热处理配方，记录和绘制数据 |
| 真空度 | • 10^-2 torr （采用机械泵） • 10^-5 torr （采用分子泵系统） |
| 隔热管堵放置 | • 设备中配有2个隔热管堵，可查看图片了解隔热管堵放置位置 • 可选购法兰支撑架，避免炉管转动 |
| 加热元件 | • 48根1500℃级别SiC棒（尺寸Φ14mm . x 150mm 加热段 x 413mm L） • 加热元件是消耗品，可在本公司选购6根S型热偶，安装在设备上 |
| 外形尺寸 | • 1950 mm L × 660 mmW × 762 mmH |
| 重量 | • 300kg |
| 应用注意事项 | • 炉管设计用于真空和低压< 0.02 Mpa • 不可将石墨坩埚放入到陶瓷炉管中 • 注意：用户所用气瓶上必须安装双级减压阀 • 进气流量小于200SCCM（或200ml/min） |
| 质保 | • 一年质保期，终生维护（消耗品不包含，如炉管，密封圈，加热元件等） |
| 质量认证 | • CE认证 • 所有电器元件（输入电压≦24V）都通过了UL/CSA认证 |
