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产品概述：
OTF-1200X-III-RR是一套卷对卷石墨烯制备管式炉系统，设备由卷对卷铜箔收放密封装置、1200℃三温区管式炉、真空机组3部分组成。此设备可用于。
大面积、高质量石墨烯及其他二维材料的规模化生长。
| 工作电源：AC220V，50/60Hz • 功率：5 KW • 加热元件：电阻丝 • 温度：1200℃ (使用时必须通入惰性气体以防止炉管发生形变)（< 1h） • 长期使用温度：1100℃ • 推荐升温速率:≤ 10℃ /min • 炉管：高纯石英管：φ100*1400mm • 总加热区长度：600mm（150+300+150mm） • PID控温，具有超温及断偶保护 • 控温精度：±1℃ | |
| 500W等离子源（选配） | • 输出功率：50-500W可调±1% • RF频率： 13.56MHz，稳定性±0.005% • 噪声：≤ 55DB • 冷却：风冷 • 输入功率：1KW AC 220V |
| 三路质子流量计控制系统（选配） | • 电压：AC220V/50Hz • 功率：23W • PLC触摸屏控制 • 混气罐尺寸：φ80*120mm • 工作温度：5~45 ºC • 压力: 3x106 Pa • 精度: ±1.5% FS • 线性: ±（0.5-1.5）%F.S. • 重复精度: ±0.2%F.S. • 流量范围: 一路: 1~50 SCCM （甲烷标定） 二路: 1~200 SCCM （氢气标定） 三路: 1~200 SCCM （氩气标定） |
| 真空测量单元 | • 型号：PGC-554-LD • 测量范围：3.8E-5 to 1125 Torr • 精度：5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15 100 … 950 mbar % of reading ±5 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5 |
| 低真空机组 （选配） | • 由双旋机械泵、双层立式油雾过滤器（PE材质）、电阻真空计以及连接管道接头等组成 • 真空泵抽气速率≥4.4L/s • 极限真空度10-1Pa • 真空计测量范围10-1Pa-105 Pa |
| 卷对卷铜箔收放密封装置 | • 采用卷对卷收放卷机构进行铜箔的移动进出料，铜箔的移动速度为1-400mm/min可调； • 配置一卷约2公斤重的铜箔，铜箔宽度：80mm，铜箔厚度0.025mm； • 收放卷机构分别放置于管式炉两端真空腔体内，保证铜箔可在密封生长条件下进行运动，实现大规模制备。 • 真空腔室极限真空度 < 5*10-2ttor（冷态下，机械泵抽20分钟） |
| 产品认证 | • 电器元件电压>24V的，可选择通过UL认证 |
| 产品尺寸 | • 2400*600*1400mm |
| 产品重量 | • 400 kg |
| 质保期 | • 一年保质期，终生维护 |
