TIME®3220T测量平台

ETA620测量平台

丝杆升降，平台上设置V型槽，用来测量形状较小的工件，可提高测量精度。

花岗岩平台工作面精度：00级(平面公差值3μm ）

花岗岩平台大小尺寸：400mm×250mm×70mm

垂直升降高度：300±1mm

升降回程误差：≤手轮旋转1/6圈

ETA650测量平台

垂直方向上的升降高度：300±1mm(微调由仪器上的可调支架完成)

垂直方向上的旋转角度：±45

回程误差：不大于手轮的1/6圈

平台的平面度：00级

花岗岩平台尺寸：600mm×420mm×80 mm

总高度：695mm

TA631微调平台

X—Y平面转角。

调整范围：X向±12.5mm Y向±12.5mm

旋转角度：粗调 360　　 微调±5