VFT系列真空贯通管
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对于半导体和薄膜处理等真空箱应用,海洋光学提供了一系列完善的光纤真空贯通附件。 这些真空贯通管包含应用广泛的、带有O型圈的螺栓式贯通管,以及安装在CF和ISO KF工业级法兰上的贯通管。 所有管件都带有处于真空侧以及空气侧的SMA 905公连接器,用于同光纤进行耦合(需另购)。
O型圈螺栓式贯通管非常适合NE毫安外壳、手套箱以及中/高压应用,而CF和ISO KF法兰则适于向现有的真空箱接口上进行安装。
产品详情
每个贯通管都配备了两个接合套管,它们可作为连接SMA 905连接器的在线式适配器
可以将O型圈贯通管旋入到真空箱内的一个3/8-24外螺纹孔中,也可采用随附的螺母和垫圈固定到一个光滑孔内
为尽量减少释气,对于真空室低压侧,建议采用带金属护套的光纤组件
规格
工程规格 | O型圈贯穿管 | CF贯穿管 | ISO KF贯穿管 |
构造: | 在一颗带有嵌入O型圈的螺栓内安装有新型金属/玻璃密封,并配备螺母和垫圈 | 手术级不锈钢光纤贯通管被焊接到行业标准法兰中 | 手术级不锈钢光纤贯通管被焊接到行业标准法兰中 |
真空等级: | 10-10Torr | 10-10 Torr | 10-10 Torr |
zui高温度: | 350 °C | 300 °C | 300 °C |